欠陥検査方法および欠陥検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西川惠清 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999146743
Publication number (International publication number)：2000339462
Application date： May. 26, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】ノイズの影響を受けにくい処理を行うことによって、連続性のある画素を一つの欠陥部分に対応する画素群として精度よく抽出し、結果的に欠陥の有無の判定精度を高める。【解決手段】検査対象を含む空間領域を撮像し(S1)、得られた濃淡画像に検査領域を設定するとともに空間微分を施して(S3)、各画素の微分絶対値および微分方向値を算出する。次に、各画素の微分絶対値に基づいて欠陥候補画素を抽出することによって(S4)ノイズを除去する。さらに、欠陥部分の連続性に基づいて欠陥候補画素を拡張し、元の欠陥部分の連続性を反映した欠陥候補ランドを求める(S5〜S10)。求めた欠陥候補ランドの画素数を閾値と比較して欠陥の有無を判定する(S11〜S13)。

Claim (excerpt)：

検査対象を含む空間領域を撮像して得られた濃淡画像から検査対象の表面上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、前記濃淡画像内の検査対象に検査領域を設定するとともに検査領域内の各画素の濃度に基づく微分演算を行って各画素の微分絶対値および微分方向値を算出する微分演算過程と、検査領域内の各画素の微分絶対値に基づいて欠陥候補画素を抽出した後に互いに隣接していて微分方向値の差が規定範囲内である欠陥候補画素の集合のうち欠陥候補とみなせる画素群に欠陥候補ラベルを付与する欠陥候補ラベル抽出過程と、欠陥候補ラベルが付与された画素群の端点となる画素に隣接する画素のうち欠陥候補ラベルが付与された画素群の中の画素と微分方向値の差が規定範囲内である画素を欠陥候補画素として前記画素群と同じ欠陥候補ラベルを付与し、微分方向値の差が規定範囲内となる画素が存在しなくなるまで欠陥候補ラベルを付与する処理を繰り返す欠陥候補ラベル延長過程と、異なる欠陥候補ラベルの付与された画素群が複数存在するときに2個以上の画素群を統合可能か否かを判断する欠陥候補ラベルペア抽出過程と、結合可能な画素群を結合して1つの欠陥候補ランドを形成する欠陥候補ラベルペア連結過程と、欠陥候補ランドの画素数が規定の閾値以上であるときに欠陥が存在すると判定する判定過程とを有することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (3)：

G06T 7/00 , G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (5)：

G06F 15/62 405 A , G01N 21/88 J , H01L 21/66 J , G06F 15/70 330 N , G06F 15/70 330 A

F-Term (38)：

2G051AA00 , 2G051AB02 , 2G051BA00 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051EA08 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA23 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051ED07 , 2G051ED14 , 2G051ED22 , 4M106AA02 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB21 , 4M106DJ11 , 4M106DJ13 , 4M106DJ14 , 4M106DJ23 , 5B057CH08 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC08 , 5B057DC14 , 5B057DC16 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096FA14 , 5L096FA67 , 5L096GA04 , 5L096GA34 , 5L096GA51 , 9A001HH23 , 9A001LL05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開平2-187651
特開平4-031751
画像処理による傷検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-327835 Applicant：松下電器産業株式会社

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Cited by examiner (6)

特開平2-187651
特開平4-031751
画像処理による傷検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-327835 Applicant：松下電器産業株式会社

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