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J-GLOBAL ID:200903083245118145

シリコン針およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 皿田 秀夫 ,  米田 潤三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004008898
Publication number (International publication number):2005198865
Application date: Jan. 16, 2004
Publication date: Jul. 28, 2005
Summary:
【課題】 生産性が良好で、アスペクト比が大きく針群の配設密度を高くとること(すなわち、高密度での針群の形成)が可能で、穿刺性に優れたシリコン針およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明のシリコン針は、基体の上に形成された複数の針状体を備え、複数の針状体は、先端に向かって連続的に漸減した外径を備える針本体を備えてなるように構成される。また、本発明のシリコン針の製造方法は、マスクを設けた後、方性エッチングを施した後、側面に堆積した堆積層を除去し、さらに等方性エッチングを施すように構成される。【選択図】 図3
Claim (excerpt):
基体の上に立設、かつ一体的に形成された複数の針状体を備えるシリコン針であって、 前記複数の針状体の単位平方ミリ当たりの配設密度は、20〜70個/mm2であり、 前記複数の針状体は、先端に向かって連続的に漸減した外径を備える針本体を備えてなることを特徴とするシリコン針。
IPC (2):
A61M37/00 ,  A61M5/158
FI (3):
A61M37/00 ,  A61M5/14 369D ,  A61M5/14 369B
F-Term (13):
4C066BB01 ,  4C066FF03 ,  4C066KK02 ,  4C066KK03 ,  4C066KK04 ,  4C066KK05 ,  4C167AA71 ,  4C167BB02 ,  4C167BB39 ,  4C167BB40 ,  4C167CC01 ,  4C167DD10 ,  4C167GG03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1) Cited by examiner (8)
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