Pat

J-GLOBAL ID：200903083500730240

非晶質膜および非晶質膜の製造方法

Inventor： 富田 雅人 ,  林 孝好
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 高山 敏夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995296243
Publication number (International publication number)：1997110408
Application date： Oct. 18, 1995
Publication date： Apr. 28, 1997
Summary：

【要約】【目的】 電気、電子材料、機械材料、その他化学工業材料に用いられる非晶質膜とその製造方法を提供すること。【構成】 単一元素または複合元素からなる非晶質またはグラッシーまたは多孔質膜を主成分物質とし、その主成分物質と同一または異なる成分からなり、かつ主成分物質と反応しにくい異物分子または異物超微粒子が混在する非晶質膜。

Claim (excerpt)：

単一元素または複合元素からなる非晶質またはグラッシーまたは多孔質膜を主成分物質とし、その主成分物質と同一または異なる成分からなり、かつ主成分物質と反応しにくい異物分子または異物超微粒子が混在することを特徴とする非晶質膜。

IPC (7)：

C01B 31/02 101 ,  C01B 31/36 ,  C01B 33/02 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/263

FI (7)：

C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/36 A ,  C01B 33/02 D ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/263

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 微細物質の固定ならびに電極形成法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-035071   Applicant：日本電気株式会社
• 炭素クラスター含有硬質膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-248851   Applicant：住友大阪セメント株式会社
• フラーレンおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-021717   Applicant：新技術事業団, 田中俊一郎