ネガ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998338209
Publication number (International publication number)：1999223948
Application date： Feb. 25, 1992
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】現像性、パターン形状、解像度、接着性、フォーカス許容性および残膜性に優れ、安定性も良好であり、特にエキシマーレーザーなどの遠紫外線以下の波長の放射線の照射にも好適に使用されるネガ感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (1)アルカリ可溶性樹脂、(2)感放射線性酸形成剤、(3)酸の存在下で(1)のアルカリ可溶性樹脂を架橋する化合物、および(4)含窒素塩基性化合物より構成されるネガ型感放射線性樹脂組成物である。上記含窒素塩基性化合物は、例えばアンモニア、トリエチルアミン、イミダゾール、ピリジン、4,4’-ジアミノジフェニルメタンなどである。

Claim (excerpt)：

(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)オニウム塩、キノンジアジド化合物、スルホン化合物、スルホン酸化合物およびニトロベンジル化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種の酸発生剤(但し、オニウム塩を除き、分子内にハロゲン原子を含む化合物を含まない)、(3)酸の存在下で(1)のアルカリ可溶性樹脂を架橋する化合物、および(4)含窒素塩基性化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平3-087748
特開平3-144650
特開平4-051243

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