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J-GLOBAL ID：200903084778749437

縞計測装置の変換係数較正方法および装置ならびに該変換係数較正装置を備えた縞計測装置

Inventor：
▲葛▼ 宗濤

About ▲葛▼ 宗濤


Applicant, Patent owner：
フジノン株式会社

About フジノン株式会社


Agent (1)： 川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005102934
Publication number (International publication number)：2006284304
Application date： Mar. 31, 2005
Publication date： Oct. 19, 2006
Summary：
【課題】縞計測装置において設定された、計測空間の座標系から実空間の座標系へ変換するための変換係数の値を、容易かつ短時間で較正することができるようにする。【解決手段】互いのなす角度が基準値をとるように構成された2つの反射面31,32を有する較正用治具3を設置し、縞計測装置により2つの反射面31,32それぞれの傾斜情報を担持した1つの縞画像を撮像する。この1つの縞画像に基づき、計測空間の座標系における2つの反射面31,32のなす角度の算出値を求め、この算出値が所定の単位系のもとで基準値と一致するように、変換係数の値を較正する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
被検面の位相情報を担持した縞画像を撮像し、該縞画像に基づき前記被検面の計測を行なう縞計測装置において設定された、計測空間の座標系から実空間の座標系へ変換するための変換係数の値を較正する方法であって、 互いのなす角度が前記実空間において所定の基準値をとるように構成された少なくとも2つの反射面を有する較正用治具を、前記縞計測装置により前記2つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した1つの縞画像を撮像し得るように設置する較正用治具設置手順と、 前記縞計測装置により前記1つの縞画像を撮像する縞画像撮像手順と、 撮像された前記1つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系における前記2つの反射面のなす角度の算出値を求める角度算出手順と、 前記基準値と前記算出値とが所定の単位系のもとで互いに一致するように、前記変換係数の値を較正する較正手順と、 をこの順で行なうことを特徴とする縞計測装置の変換係数較正方法。
IPC (2)：
G01B 11/26 ,  G01B 9/02
FI (2)：
G01B11/26 G ,  G01B9/02
F-Term (21)：
2F064AA06 ,  2F064BB03 ,  2F064DD09 ,  2F064EE05 ,  2F064GG22 ,  2F064GG44 ,  2F064HH03 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA33 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065EE00 ,  2F065FF52 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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