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J-GLOBAL ID:200903085273050745
マイクロマシンスイッチ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
高橋 勇
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000073469
Publication number (International publication number):2001266727
Application date: Mar. 16, 2000
Publication date: Sep. 28, 2001
Summary:
【要約】【課題】 安定した動作特性を実現し、かつ多数の接点組を有し安価に大量生産が可能なマイクロマシンスイッチを提供する。【解決手段】 マイクロマシンスイッチ1は、信号線3に対して接触電極10を接触又は開離させることにより、信号線3の導通又は非導通を制御するものである。基板2上に設けられた支持台5L,5Rと、基板2から離れた状態かつこの順序で連結された両持ちばね6L、上部電極7L、接触電極10、上部電極7R及び両持ちばね6Rと、基板2上に設けられた下部電極4L,4Rとを備えている。上部電極7L,7Rと下部電極4L,4Rとの間に静電気力を発生させることにより、信号線3に接触電極10を接触させる。両持ちばね6L,6Rの復元力により、信号線3から接触電極10を開離させる。
Claim (excerpt):
基板上に設けられた信号線に対して接触電極を接触又は開離させることにより、当該信号線の導通又は非導通を制御するマイクロマシンスイッチにおいて、前記基板上に互いに離れて設けられた第一及び第二の支持台と、これらの第一及び第二の支持台の間に、前記基板から離れた状態かつこの順序で連結された第一の両持ちばね、第一の上部電極、前記接触電極、第二の上部電極及び第二の両持ちばねと、前記第一及び第二の上部電極に対向する位置の前記基板上に設けられた第一及び第二の下部電極とを備え、前記第一及び第二の上部電極と前記第一及び第二の下部電極との間に静電気力を発生させることにより、前記信号線に前記接触電極を接触させ、前記第一及び第二の両持ちばねの復元力により前記信号線から前記接触電極を開離させる、ことを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
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マイクロマシンスイッチおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-365677
Applicant:日本電気株式会社
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静電型スイッチ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-050594
Applicant:日本電信電話株式会社
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ミクロ機械加工されたリレー及び当該リレーの形成方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平6-518131
Applicant:ブルックトゥリーコーポレイション
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マイクロマシンスイッチおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-365690
Applicant:日本電気株式会社
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静電マイクロリレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-286602
Applicant:オムロン株式会社
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マイクロリレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-319100
Applicant:オムロン株式会社
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マイクロ・エレクトロメカニカルRFスイッチをベースにした折り返しバネとその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-269664
Applicant:モトローラ・インコーポレイテッド
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高周波集積回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-156194
Applicant:株式会社デンソー
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高周波リレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-092423
Applicant:日本電気株式会社
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微細電気機械スイッチ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-082436
Applicant:ロックウェル・インターナショナル・コーポレイション
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静電型マトリクススイッチ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-007276
Applicant:松下電工株式会社
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静電型マトリクススイッチ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-174119
Applicant:松下電工株式会社
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静電型マトリクスリレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-308019
Applicant:松下電工株式会社
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