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J-GLOBAL ID：200903085588022839

仕事関数またはイオン化ポテンシャル測定装置

Inventor： 藤川 久喜 ,  時任 静士 ,  多賀 康訓
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997070181
Publication number (International publication number)：1998267869
Application date： Mar. 24, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 試料の仕事関数またはイオン化ポテンシャルを正確に測定する。【解決手段】 重水素ランプ1からの紫外線を分光器2で分光し、試料5に照射する。生じた光電子を電子増倍管13で検出する。試料5から光電子の放出が始まる波長(エネルギー)に基づき仕事関数またはイオン化ポテンシャルを求める。ここで、直流電源11により試料の電位を固定し、ゴニオメータ9により試料5の位置を調整し、NDフィルタ8により照射紫外線強度を調整するなどことによって、微小電流計11で計測される試料の吸収電流を一定に保つことで、試料のチャージアップを防止して、正確な仕事関数またはイオン化ポテンシャルを測定する。

Claim (excerpt)：

試料から放出される光電子の収量を測定することにより試料の仕事関数またはイオン化ポテンシャルを測定する仕事関数またはイオン化ポテンシャル測定装置であって、試料が取り付けられ、試料の位置を調整可能な試料台と、試料に向けて分光された紫外線を照射する紫外線照射部と、試料から発生する光電子を検出する光電子検出器と、上記試料における吸収電流を検出する吸収電流検出器と、を有し、吸収電流の検出結果に基づき試料に照射される紫外線の強度を調節すると共に、試料台により試料位置を調整することにより吸収電流を調整し、この状態において光電子検出器の検出結果に基づき試料の仕事関数またはイオン化ポテンシャルを測定することを特徴とする仕事関数またはイオン化ポテンシャル測定装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 表面分析方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-303490   Applicant：株式会社日立製作所
• X線光電子分光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-132481   Applicant：キヤノン株式会社
• 局所的光電子検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-226194   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭64-071048