荷電粒子ビーム装置用カラム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000115454
Publication number (International publication number)：2000348658
Application date： Apr. 17, 2000
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】高分解能を維持しつつビームの到達角度が大きい状態で検査可能な荷電粒子ビームカラムを提供する。【解決手段】荷電粒子ビームカラムは、粒子供給源12と、対物レンズ20と、対物レンズと前方レンズ偏向ユニット30を含み、これによって荷電粒子ビームを光軸の方向に向けて、第1の方向から試料表面に当たるような経路に、光軸から離れて荷電粒子ビームを偏向し、対物レンズの近傍に配置されたインレンズ偏向ユニット40を含み、対物レンズとインレンズ偏向ユニットによって荷電粒子ビームを光軸の方向に再度向けて、第1の方向と実質的に反対方向の第2の方向からビーム到達角度が大きな状態で試料表面に当たるような経路に、変更された荷電粒子ビームを再度方向付けする。

Claim (excerpt)：

光軸に沿って伝播する荷電粒子ビームを供給するための粒子供給源と、荷電粒子ビームを試料表面に集束させるための対物レンズと、粒子供給源と対物レンズ間に配置された前方レンズ偏向ユニットであって、前記対物レンズと該前方レンズ偏向ユニットとを組み合わせた作用によって、荷電粒子ビームが光軸方向に向けられて第1の方向から試料表面に当たるような経路で光軸から離れるように荷電粒子ビームを偏向させるように適合された前方レンズ偏向ユニットと、インレンズ偏向ユニットのフィールドと対物レンズのフィールドが重なるように前記対物レンズの近傍に配置されたインレンズ偏向ユニットであって、前記対物レンズと該インレンズ偏向ユニットとを組み合わせた作用によって、電粒子ビームが光軸方向に再度向けられて、前記第1の方向とは実質的に反対方向の第2の方向から大きな傾斜ビーム到達角度で試料表面に当たるような経路で、偏向された荷電粒子ビームを再方向付けするように適合されたインレンズ偏向ユニットとを備える、傾斜ビーム到達角度で荷電粒子ビームを試料表面に向けるためのカラム。

IPC (6)：

H01J 37/147 , G01B 15/00 , H01J 37/12 , H01J 37/141 , H01J 37/145 , H01J 37/28

FI (6)：

H01J 37/147 B , G01B 15/00 B , H01J 37/12 , H01J 37/141 Z , H01J 37/145 , H01J 37/28 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

電子線光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-236505 Applicant：株式会社トプコン
走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-001287 Applicant：日本電子株式会社
特開平2-033843

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