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J-GLOBAL ID：200903085980514391

画像欠陥検査装置及び画像欠陥検査方法

Inventor：
石川 明夫

About 石川 明夫


Applicant, Patent owner：
株式会社東京精密

About 株式会社東京精密


Agent (6)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  小林 龍 ,  下道 晶久 ,  西山 雅也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005268470
Publication number (International publication number)：2007078572
Application date： Sep. 15, 2005
Publication date： Mar. 29, 2007
Summary：
【課題】 繰り返しパターンを含む2つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出し、グレイレベル差が欠陥検出条件を満たすとき2つの検査画像のうちいずれかの画素が欠陥であると判定する画像欠陥検査において、様々な繰り返しパターンに対して、検査画像の各部に応じて欠陥検出条件の変更を容易に行うことを可能にする。【解決手段】 画像欠陥検査装置10を、検査画像を繰り返し周期の整数倍毎に分割した画素ブロックのいずれかについて、その各画素を複数グループに分類する分類部21と、この分類結果をこの画素ブロック内における各画素のそれぞれのブロック内位置に対応して記憶する記憶部22と、他の画素ブロック内の各画素についてのそれぞれの分類結果を、各画素のブロック内位置に対応して記憶部22から読み出して決定する決定部23と、を備えて構成し、各画素について決定した分類結果に応じて欠陥検出条件を変更する。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
繰り返しパターンを含む2つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出し、そのグレイレベル差が欠陥検出条件を満たすとき、前記2つの検査画像のうちいずれかの前記画素が欠陥であると判定する画像欠陥検査装置において、 前記検査画像の繰り返し周期の整数倍の画素数毎に前記検査画像を分割して定まる各画素ブロックのいずれかについて、当該画素ブロック内の各画素を複数のグループに分類する分類部と、 前記分類部による各分類結果を、前記いずれかの画素ブロック内における各画素のそれぞれのブロック内位置に対応して記憶する記憶部と、 他の前記画素ブロック内の各画素についてのそれぞれの分類結果を、当該他の画素ブロック内における当該画素のブロック内位置に対応して前記記憶部から読み出して決定するグループ決定部と、を備え、 各前記画素についてそれぞれ決定された分類結果に応じて、この画素に対する前記欠陥検出条件を変えることを特徴とする画像欠陥検査装置。
IPC (5)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/66 ,  G06T 1/00 ,  G06T 5/20
FI (5)：
G01N21/956 A ,  G01B11/24 K ,  H01L21/66 J ,  G06T1/00 305A ,  G06T5/20 B
F-Term (49)：
2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ32 ,  2F065RR07 ,  2F065SS03 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EB02 ,  2G051EC05 ,  2G051ED04 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE03 ,  5B057CE06 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (5)
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