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J-GLOBAL ID：200903085994434269
感放射線性樹脂組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000028442
Publication number (International publication number)：2001215708
Application date： Feb. 04, 2000
Publication date： Aug. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 感度、解像度等のレジストとしての基本物性に優れるとともに、長期保存による感度変化が少ない感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記構造式(1)で表される基で置換された炭素数3〜30の脂環式骨格を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔構造式(1)において、R1 は下記一般式(2)または一般式(3)で表される基を示す。【化2】{一般式(2)において、R2 およびR3 は相互に独立に炭素数1〜4のアルキル基を示すか、あるいはR2 とR3 が相互に結合して3〜8員環の環状構造を形成しており、一般式(3)において、R4 は炭素数1〜4のアルキル基を示す。}〕
Claim (excerpt)：
(A)下記構造式(1)で表される基で置換された炭素数3〜30の脂環式骨格を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔構造式(1)において、R1 は下記一般式(2)または一般式(3)で表される基を示す。【化2】{一般式(2)において、R2 およびR3 は相互に独立に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示すか、あるいはR2 とR3 が相互に結合して式中の炭素原子および酸素原子と共に3〜8員環の環状構造を形成しており、一般式(3)において、R4 は炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。}〕
IPC (2)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
Cited by examiner (5)
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