Pat

J-GLOBAL ID：200903086222896530

摺動部材及びその製造方法

Inventor： 下田 健二 ,  金澤 孝明 ,  高柳 登
Applicant, Patent owner： トヨタ自動車株式会社
Agent (3)： 平木 祐輔 ,  早川 康 ,  渡辺 敏章
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002162782
Publication number (International publication number)：2004010923
Application date： Jun. 04, 2002
Publication date： Jan. 15, 2004
Summary：

【課題】耐摩耗性及び密着性に優れた保護膜を有する摺動部材を提供する。【解決手段】基材30の上に、Cr層31、Cr-カーボン組成傾斜層32、DLC硬度傾斜層33、硬質DLC層34を順に積層した構造の保護膜を設ける。各層はスパッタリングで成膜し、DLC硬度傾斜層33は、放電ガスへのアセチレンガス導入量を変化させることによって硬度を増大させながら成膜する。【選択図】 図10

Claim (excerpt)：

基材と、該基材の表面に形成した保護膜とを含む摺動部材において、前記保護膜は、金属層と、前記金属層の上に形成された金属-カーボン組成傾斜層と、前記金属-カーボン組成傾斜層の上に形成され該金属-カーボン組成傾斜層から離れるに従って硬度が増加する硬度変化領域を有するダイヤモンドライクカーボン層とを備えることを特徴とする摺動部材。

IPC (2)：

C23C14/06 ,  F16J9/26

FI (2)：

C23C14/06 N ,  F16J9/26 C

F-Term (17)：

3J044AA02 ,  3J044AA14 ,  3J044BA01 ,  3J044BB20 ,  3J044BC06 ,  4K029BA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029EA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-062395   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 保護膜被覆部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-038455   Applicant：株式会社東研サーモテック
• ダイヤモンドライクカーボン薄膜を有する物品およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-087857   Applicant：ティーディーケイ株式会社
• 磁気記録媒体およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-319804   Applicant：富士電機株式会社
• 硬質被膜及び被覆部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-367844   Applicant：住友電気工業株式会社
• 高硬度高密着性DLC膜の成膜方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-326218   Applicant：川崎重工業株式会社