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J-GLOBAL ID：200903062487830870

ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法

Inventor： 小原 利光 ,  赤理 孝一郎 ,  岩村 栄治
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 小谷 悦司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001062395
Publication number (International publication number)：2002256415
Application date： Mar. 06, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】 鉄系材料を基材として用い、この基材に対して比較的厚く形成しても優れた密着性を発揮することのできるDLC膜を最表面層として形成した硬質多層膜形成体、およびその様な硬質多層膜形成体を形成する為の有用な方法を提供する【解決手段】 ダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、更に中間層および基材を含んでなり、前記基材は鉄系材料からなると共に、前記中間層は、Crおよび/またはAlの金属からなる基材側の第1層と、Crおよび/またはAlの金属と炭素を含む非晶質層からなる最表面層側の第2層からなる2層構造である。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、更に中間層および基材を含んでなり、前記基材は鉄系材料からなると共に、前記中間層は、Crおよび/またはAlの金属からなる基材側の第1層と、Crおよび/またはAlの金属と炭素を含む非晶質層からなる最表面層側の第2層からなる2層構造であることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体。

IPC (4)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  B23B 27/14 ,  B23P 15/28

FI (5)：

C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/34 N ,  B23B 27/14 A ,  B23P 15/28 A

F-Term (17)：

3C046FF02 ,  3C046FF09 ,  3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  3C046FF20 ,  4K029AA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA07 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  4K029FA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• ダイヤモンドライクカーボン薄膜及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-057085   Applicant：株式会社リケン
• 特開平2-159366
  
• 超音波モーター用摺動部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-158626   Applicant：住友金属鉱山株式会社
• ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-289718   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 非晶質炭素被覆部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-016954   Applicant：住友電気工業株式会社
• ダイヤモンドライクカーボン薄膜を有する物品およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-087857   Applicant：ティーディーケイ株式会社