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J-GLOBAL ID:200903086593883814

GaN系発光素子およびその作成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 酒井 宏明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000138978
Publication number (International publication number):2001320089
Application date: May. 11, 2000
Publication date: Nov. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 GaNPやGaNAsを活性層とした良質なGaN系発光素子およびその作成方法を提供すること。【解決手段】 n型GaN層13上に積層されたp型GaN層14中にPをイオン注入し、その後加熱することによって、活性層となるGaNP層15を形成する。
Claim (excerpt):
p型GaN系化合物半導体層と、前記p型GaN系化合物半導体層に接合されたn型GaN系化合物半導体層と、活性層として、前記p型GaN系化合物半導体層または前記n型GaN系化合物半導体層にAs(砒素)またはP(燐)をイオン注入した後に熱処理を施すことで形成されたGaNAs層またはGaNP層と、を備えて構成されたことを特徴とするGaN系発光素子。
FI (2):
H01L 33/00 F ,  H01L 33/00 C
F-Term (6):
5F041AA12 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA71 ,  5F041CA73 ,  5F041CB28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 半導体発光素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-028300   Applicant:古河電気工業株式会社
  • 特開平4-261044
  • 3族窒化物半導体平面発光素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-338503   Applicant:豊田合成株式会社
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