赤外線検出器

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉田研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002058543
Publication number (International publication number)：2003254820
Application date： Mar. 05, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】ゲッターを簡単な構造で保持でき、また組立てが容易にできるようにすることでコストの削減を図る。【解決手段】基板20の外周壁20aの上面にはくぼみ24が設けられており、そこにバルク型のゲッター23を収納する。くぼみ24は、赤外線検出素子1が配置される気密状態の空間25と外周壁20aの一部を切り欠いて形成した孔を通じて連結されている。基板20は、セラミックパッケージであり、パッケージ成型時にくぼみ24及び孔は形成される。ゲッター23は、ウィンドウ21を通してレーザ光線が照射されることにより空間25内のガスを吸着する。

Claim (excerpt)：

外周壁を有する基板と、赤外線を透過し、前記外周壁に接合されることによって前記外周壁により形成される前記基板の開口部を封止するウィンドウと、前記ウィンドウと前記基板とにより形成される空間内であって前記基板の上に配置される赤外線検出素子と、レーザ光線が照射されることにより前記空間内の気体を吸着するバルク型のゲッターと、前記ウィンドウを介してレーザ光線が届く位置に配設され、前記ゲッターを収納する凹部と、前記赤外線検出素子の温度を安定化させる電子冷却素子と、を有し、前記凹部と前記赤外線検出素子が配置される空間とは、前記ゲッターの寸法よりも小さい開口部により連結されていることを特徴とする赤外線検出器。

IPC (2)：

G01J 1/02 , G01J 1/04

FI (2)：

G01J 1/02 C , G01J 1/04 E

F-Term (10)：

2G065AA04 , 2G065BA02 , 2G065BA12 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065BA36 , 2G065BA37 , 2G065BA38 , 2G065CA19 , 2G065CA30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

赤外線検出器及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-149659 Applicant：三菱電機株式会社
赤外線デバイス用集積シリコン真空マイクロパッケージ
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-516908 Applicant：ハネウエル・インコーポレーテッド
赤外線検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-041322 Applicant：三菱電機株式会社

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