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J-GLOBAL ID:200903086771279438
樹脂の回転塗布方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
井桁 貞一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994130136
Publication number (International publication number):1995335532
Application date: Jun. 13, 1994
Publication date: Dec. 22, 1995
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、感光性樹脂膜等の回転塗布方法に関し、効率的な塗布の方法を得る。【構成】 ワーク1の面上に滴下ノズル2より樹脂3を滴下し、展延手段4を用いて該樹脂3を該ワーク1面の少なくとも半分以上の領域に展延した後、該ワーク1を回転して該樹脂3を該ワーク1全面に被覆する。或いは、テーブル13或いは一方のワーク1上に樹脂3を滴下し、他のワーク1'に樹脂3を転写後、両方のワーク1、1'を回転して該樹脂3を両方のワーク1、1'全面に被覆する。
Claim (excerpt):
ワーク(1) の面上に滴下ノズル(2) より樹脂(3) を滴下し、展延手段(4) を用いて該樹脂(3) を該ワーク(1) 面の少なくとも半分以上の領域に展延した後、該ワーク(1) を回転して該樹脂(3) を該ワーク(1) 全面に被覆することを特徴とする樹脂の回転塗布方法。
IPC (3):
H01L 21/027
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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特開昭59-100524
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スピンナー塗布装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-133400
Applicant:凸版印刷株式会社
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半導体ウェーハのスピンコーティング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-051847
Applicant:川崎製鉄株式会社
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特開昭62-137829
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スピンコーティング方法およびその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-042452
Applicant:オリジン電気株式会社
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特開平2-290277
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特開昭63-246820
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特開昭59-100524
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特開昭62-137829
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特開平2-290277
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特開昭63-246820
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