収差補正装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008107375
Publication number (International publication number)：2009054565
Application date： Apr. 17, 2008
Publication date： Mar. 12, 2009
Summary：

【課題】負の球面収差を生じさせ、且つ高次の収差を補正する電子顕微鏡用の収差補正装置を提供する。【解決手段】光軸に対してそれぞれが三回対称場を生じる三段の多極子21、22、23を備え、中段の多極子22は、光軸に垂直な面内において三回対称場を生じさせ、後段の多極子23は、光軸に垂直な面内において三回対称場を生じさせ、どの二段の多極子同士も三回場を打ち消す方向に配置されていないが、三段では三回非点を打ち消すように配置させる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

光軸に対して一列に配置され、前記光軸に沿ってそれぞれが厚みを有する三段の多極子を備え、前記三段の多極子のうち、前段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第1の磁場又は電場を生じ、前記三段の多極子のうち、中段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第2の磁場又は電場を生じ、前記三段の多極子のうち、後段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第3の磁場又は電場を生じ、前記第2の磁場又は電場においては、前記第1磁場または電場、あるいは前記第3磁場または電場から発生した三回対称非点を打ち消す方向ではない磁場又は電場三回対称分布を作り、前記第3の磁場又は電場においては、前記第1の磁場または電場、あるいは前記第2の磁場または電場から発生した三回対称非点を打ち消す方向ではない磁場又は電場三回対称分布を作り、前記前段の多極子において発生した三回対称収差を、前記中段の多極子を用いて回転させ、前記中段の多極子から発生した三回対称収差を前記後段の多極子を用いて回転させ、前記三段の多極子の合成として三回対称非点を打ち消し、球面収差補正と高次収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡用収差補正装置。

IPC (1)：

H01J 37/153

FI (1)：

H01J37/153 A

F-Term (2)：

5C033HH01 , 5C033HH05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

電子顕微鏡の球面収差補正装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-200768 Applicant：日本電子株式会社

Cited by examiner (3)

電子顕微鏡の球面収差補正装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-200768 Applicant：日本電子株式会社
荷電粒子線投影系における偏向収差補正
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-016996 Applicant：株式会社ニコン
3次収差を除く電子光学補正器
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-552424 Applicant：レオイレクトロネンミクロスコピィゲーエムベーハー

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