軟X線利用装置のデブリ除去機構

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：石田敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999243600
Publication number (International publication number)：2001068297
Application date： Aug. 30, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】ターゲットからの軟X線と一緒に発生するデブリ(ごみ)を効率的に除去すると共に、この除去機構を小型化する。【解決手段】本発明の軟X線利用装置のデブリ除去機構10では、デブリを阻止するスクリーンとして、従来の穴をあけた回転円板に代えて、回転する円筒体スクリーン20を使用している。この円筒体スクリーンは、その側面に複数の穴23が設けられており、磁気軸受14で磁気浮上された状態で高速回転し、軟X線のみが該穴を通過し、反射鏡50で反射集光され、デブリは飛翔速度が遅いため該穴を通過できずに、円筒体スクリーンに付着することで除去される。

Claim (excerpt)：

真空槽内でレーザをターゲットに当てて軟X線を発生させ、光学系を用いて該軟X線を屈折、集光して利用する装置におけるデブリ除去機構において、軟X線と、該軟X線と共に発生するデブリとの飛翔速度の速度差を利用してデブリを除去し、該軟X線のみを発生と同期させて光学系の方向に導けるように、周側面に穴をあけた円筒体スクリーンを光路に設置し、該スクリーンを高速回転させることでデブリを該スクリーンで阻止するようにしたことを特徴とする軟X線利用装置のデブリ除去機構。

IPC (4)：

H05G 2/00 , G21K 5/02 , G21K 5/08 , H05G 1/02

FI (4)：

H05G 1/00 J , G21K 5/02 X , G21K 5/08 X , H05G 1/02 Z

F-Term (5)：

4C092AA02 , 4C092AB19 , 4C092AB21 , 4C092AC09 , 4C092BD12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

レーザー励起型X線源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-105642 Applicant：工業技術院長, 株式会社島津製作所
X線源用フィルタ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-155329 Applicant：株式会社ニコン
特開昭64-006349

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