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J-GLOBAL ID：200903087754465631

圧電アクチュエータ及びそれを用いたインクジェットヘッド

Inventor：
磯野 純

About 磯野 純


Applicant, Patent owner：
ブラザー工業株式会社

About ブラザー工業株式会社


Agent (1)： 兼子 直久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001179906
Publication number (International publication number)：2002374685
Application date： Jun. 14, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：
【要約】【課題】 反りやうねりを抑制して良好な平面性を有することができる上、その性能を十分に発揮することのできる圧電アクチュエータ及びそれを用いたインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】 圧電アクチュエータ20には、個別電極31、コモン電極32をそれぞれ導通するためにスルーホール36,37が設けられている。このスルーホールの最大径(φ)は20μm≦φ≦200μmであり、また、各圧電シート21〜29に穿設されるスルーホール36,37は、その積層方向において電極(個別電極31、ダミー電極31b、コモン電極32、ダミー電極32b)を電気的に接続する。更に、スルーホール36,37は積層方向に対して千鳥状になるように配設されている。
Claim (excerpt)：
複数の内部個別電極を備えた第1の圧電シートと内部共通電極を備えた第2の圧電シートとを交互に積層した圧電アクチュエータにおいて、前記各圧電シートは、積層方向の前記内部個別電極の端部どうし及び前記内部共通電極の端部どうしを電気的に導通させるべく内部に導電材料を有するスルーホールを有しており、そのスルーホールは、最大径が略20μm以上で且つ略200μm以下となるように形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (5)：
H02N 2/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/09
FI (4)：
H02N 2/00 B ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 Q
F-Term (4)：
2C057AG14 ,  2C057AG37 ,  2C057AG47 ,  2C057BA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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