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J-GLOBAL ID：200903087765480675

薄膜の密着力評価方法及び硬さ試験機

Inventor：
澤 健司

About 澤 健司


Applicant, Patent owner：
株式会社ミツトヨ

About 株式会社ミツトヨ


Agent (2)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004009261
Publication number (International publication number)：2005201803
Application date： Jan. 16, 2004
Publication date： Jul. 28, 2005
Summary：
【課題】 複雑な機構を有する治具等を用いることなく、より正確に薄膜の密着力を相対的に評価することができる薄膜の密着力評価方法を提供する。【解決手段】 表面に薄膜(11)が形成された基板(10)を所定の角度に傾斜させた状態で、薄膜に圧子(3)を所定の押圧力で押付けて、そのときの圧子の押込深さを計測し、その計測結果に基づいて、基板の表面に対する薄膜の密着力を相対的に評価することを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
表面に薄膜が形成された基板を所定の角度に傾斜させた状態で、該薄膜に圧子を所定の押圧力で押付けて、そのときの該圧子の押込深さを計測し、 その計測結果に基づいて、該基板の表面に対する該薄膜の密着力を相対的に評価することを特徴とする薄膜の密着力評価方法。
IPC (3)：
G01N19/04 ,  G01N3/00 ,  G01N3/42
FI (3)：
G01N19/04 Z ,  G01N3/00 P ,  G01N3/42 Z
F-Term (11)：
2G061AA02 ,  2G061BA01 ,  2G061BA20 ,  2G061CA16 ,  2G061CB01 ,  2G061DA01 ,  2G061DA12 ,  2G061EA01 ,  2G061EA02 ,  2G061EB03 ,  2G061EC04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 薄膜密着強度評価方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-141134   Applicant：トヨタ自動車株式会社
Cited by examiner (8)
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