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J-GLOBAL ID:200903088177137162

ガルバノミラー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 進
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001370399
Publication number (International publication number):2003167211
Application date: Dec. 04, 2001
Publication date: Jun. 13, 2003
Summary:
【要約】【課題】 ミラーの回転振動、ミラ一面に垂直な方向の振動の発生を抑制できるガルバノミラーを提供する。【解決手段】 ミラーが取り付けられるミラーホルダ18を回転軸A、Bの周りで回転自在に支持する4本のバネ23a〜23dにおけるバネ23a等にはその中間部から回転軸A、Bに交差する方向にアーム28a等が延出され、その先端はそれぞれその先端に近接するバネ23b等に粘弾性を有するダンピング材30により連結され、ミラーホルダ18が回転駆動等された場合に、不要な振動等が発生するのをダンピング材30の粘弾性により抑制する構造にした。
Claim (excerpt):
少なくとも反射面を有する可動部と、この可動部を固定部材に対して第1および第2の回転軸の回りに傾き可能に支持する少なくとも4本のバネと、前記可動部を前記第1および第2の回転軸の回りに駆動する第1および第2の駆動手段を有するガルバノミラーにおいて、前記バネのうち第1のバネから前記第1或いは第2の回転軸に交差する方向に延出した第1のアームを設け、前記第1のアームの先端に近接するバネ中間部とを連結するようにダンピング材を設けたことを特徴とするガルバノミラー。
IPC (3):
G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08 ,  G11B 7/09
FI (3):
G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/08 E ,  G11B 7/09 E
F-Term (21):
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB72 ,  5D118AA23 ,  5D118DC07 ,  5D118EA02 ,  5D118EB02 ,  5D118EC04 ,  5D118EF03 ,  5D118EF08 ,  5D118FA36 ,  5D118FA39 ,  5D118FB03 ,  5D118FB05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (12)
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