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J-GLOBAL ID：200903088455660319
液晶表示装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡田 敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994306549
Publication number (International publication number)：1996160458
Application date： Dec. 09, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】 正スタガー型TFTを用いた液晶表示装置において、ゲート配線Alのヒロックによるゲート・ソース間及びゲート・ドレイン間のショートを防止し、歩留まりを向上する。【構成】 ゲート電極配線(16)を高耐熱性のAl-Nd(2wt.%)合金により形成した構成である。これにより、ゲート電極配線(16)とソース・ドレイン電極配線(13)が、ゲート電極配線(16)と同じパターンで形成されたゲート絶縁層(15)の膜厚分の離間によってのみ絶縁された構造において、ヒロックによって両電極配線(13,16)がショートすることが無くなる。
Claim (excerpt)：
基板上に複数形成された液晶駆動用の画素電極と、該各画素電極の間に形成されたドレインラインと、前記画素電極の一部であるソース電極と、前記ドレインラインの一部であるドレイン電極と、前記画素電極の間で前記ドレインラインに交差して形成されたゲートラインと、前記ソース電極と前記ドレイン電極上に半導体層、絶縁層、及び、前記ゲートラインと一体のゲート電極が同一形状で積層されてなる薄膜トランジスタとを有する液晶表示装置において、前記ゲートライン及び前記ゲート電極はAlにNdを少量含有した合金により形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (3)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
H01L 29/78 612 C
, H01L 29/78 617 M
