微分干渉顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996101316
Publication number (International publication number)：1997015504
Application date： Apr. 23, 1996
Publication date： Jan. 17, 1997
Summary：

【要約】【課題】観察物体の正確な位相分布を計測できる微分干渉顕微鏡を提供する。【解決手段】光源7からの光を常光および異常光に分離して観察物体1に照射し、観察物体1を経た常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、常光および異常光の光路長差を変化させる光路長差変化手段(9,12)と、結像面に配置した電子撮像素子4と、この電子撮像素子4からの画像データを処理する画像処理手段5とを有し、光路長差変化手段(9,12)により常光および異常光の光路長差を、互いにほぼ等しく符号が異なる2つの状態に変化させ、その各状態での電子撮像素子4からの画像データを画像処理手段5に取り込んで、それらの差画像、和画像を得るようにする。

Claim (excerpt)：

光源からの光を常光および異常光に分離して観察物体に照射し、該観察物体を経た前記常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、前記常光および異常光の光路長差を変化させる光路長差変化手段と、前記結像面に配置した電子撮像素子と、この電子撮像素子からの画像データを処理する画像処理手段とを有し、前記光路長差変化手段により前記常光および異常光の光路長差を、互いにほぼ等しく符号が異なる2つの状態に変化させ、その各状態での前記電子撮像素子からの画像データを前記画像処理手段に取り込んで、それらの差画像を得るよう構成したことを特徴とする微分干渉顕微鏡。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

干渉顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-031062 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
微分干渉顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-107905 Applicant：富士通株式会社
微分干渉顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-196717 Applicant：株式会社ニコン

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