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J-GLOBAL ID：200903088683736970

圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器

Inventor：
宮澤 弘

About 宮澤 弘


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (2)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004297852
Publication number (International publication number)：2006114562
Application date： Oct. 12, 2004
Publication date： Apr. 27, 2006
Summary：
【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。【解決手段】 本発明に係る圧電体膜は, ペロブスカイト型の圧電体膜であって、 擬立方晶(100)に優先配向しており、 モノクリニック構造(図のMで示される領域)を有し、 分極軸方向は、擬立方晶<111>方向と,擬立方晶<100>方向との間である。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
ペロブスカイト型の圧電体膜であって、 擬立方晶(100)に優先配向しており、 モノクリニック構造を有し、 分極軸方向は、擬立方晶<111>方向と、擬立方晶<100>方向との間である、圧電体膜。
IPC (13)：
H01L 41/22 ,  B81B 3/00 ,  C04B 35/49 ,  C30B 29/32 ,  F04B 9/00 ,  H03B 5/30 ,  H03H 9/17 ,  H03H 9/25 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (14)：
H01L41/22 Z ,  B81B3/00 ,  C04B35/49 A ,  C30B29/32 A ,  F04B9/00 B ,  H03B5/30 A ,  H03H9/17 F ,  H03H9/25 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  B41J3/04 103A
F-Term (42)：
2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  3H075AA07 ,  3H075BB04 ,  3H075CC25 ,  3H075CC36 ,  3H075DA05 ,  3H075DB02 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA01 ,  4G031CA02 ,  4G031CA08 ,  4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077BC43 ,  4G077CB02 ,  4G077CB08 ,  4G077EC07 ,  4G077ED06 ,  4G077EF01 ,  4G077FE03 ,  4G077FE19 ,  4G077HA11 ,  5J079AA08 ,  5J079BA43 ,  5J079HA06 ,  5J079HA22 ,  5J097AA28 ,  5J097BB02 ,  5J097BB11 ,  5J097FF02 ,  5J108BB05 ,  5J108CC11 ,  5J108CC13 ,  5J108JJ04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (6)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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