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J-GLOBAL ID：200903088693890446

フォトルミネッセンスマッピング測定装置

Inventor：
鎌田 功穂

About 鎌田 功穂

, 
土田 秀一

About 土田 秀一

, 
クドゥリャショフ イゴール

About クドゥリャショフ イゴール


Applicant, Patent owner：
財団法人電力中央研究所

About 財団法人電力中央研究所


Agent (4)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  鈴木 亨 ,  八本 佳子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005175514
Publication number (International publication number)：2006349482
Application date： Jun. 15, 2005
Publication date： Dec. 28, 2006
Summary：
【課題】 低温での精密なマッピング測定を容易に行うことができるフォトルミネッセンスマッピング測定装置を提供する。【解決手段】 励起光源側からの励起光軸と、分光器側へ向かう採取光軸とを固定した状態で、試料面の各測定点へ励起光および採取光の焦点を移動させる移動光学系を設けて、半導体結晶試料を一定位置に固定し、移動光学系によって試料面を走査するようにした。移動光学系の一つの態様では、X方向ステージに固定された前段反射鏡11と、Y方向ステージに固定された後段反射鏡21および対物レンズ25を備え、これらによって励起光および採取光を反射、集光する。X方向ステージをY方向ステージと共に移動させ、Y方向ステージをX方向ステージとは独立に移動させることによって、試料面上の焦点のX-Y走査を行う。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
半導体結晶試料の試料面を走査し、該試料面からのフォトルミネッセンス光をマッピング測定するフォトルミネッセンスマッピング測定装置であって、 半導体結晶試料を励起するための励起光源と、 半導体結晶試料が固定される試料固定部と、 半導体結晶試料からのフォトルミネッセンス光を含む採取光を分光する分光器と、 分光器からの光を光電変換する光検出器と、 励起光源および分光器と、半導体結晶試料との間に配置された移動光学系と、を備え、 前記移動光学系は、 励起光および/または採取光を反射する複数の移動可能な反射鏡と、 試料面の測定点へ励起光を集光し、および/または試料面の測定点からの採取光を平行光とする少なくとも1つの移動可能な対物レンズと、 を備えるとともに、励起光源側から移動光学系へ向かう励起光の光軸と、移動光学系から分光器側へ向かう採取光の光軸とを固定した状態で、試料面の各測定点へ励起光および採取光の焦点を移動させることを特徴とするフォトルミネッセンスマッピング測定装置。
IPC (2)：
G01N 21/64 ,  G01N 21/00
FI (2)：
G01N21/64 Z ,  G01N21/00 B
F-Term (29)：
2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043DA08 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043GA01 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043JA02 ,  2G043JA04 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043LA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB16 ,  2G059DD18 ,  2G059EE07 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ15 ,  2G059KK02 ,  2G059KK04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (8)
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