マイクロメカニカル回転速度センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢野敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997113266
Publication number (International publication number)：1998047972
Application date： May. 01, 1997
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】振動の節に検出エレメント20が配設されており、これによって、回転によって惹き起こされた、振動の節のずれが検出可能である、励振手段10によって振動の腹および振動の節を有する振動に励振可能であるリング3を備えたマイクロメカニカル回転速度センサを低価格で製造することができるように改良する。【解決手段】リング、励振手段、検出エレメントが表面マイクロメカニカル素子としてサブストレート上に実現されている。

Claim (excerpt)：

励振手段(10)によって振動の腹および振動の節を有する振動に励振可能であるリング(3)を備えたマイクロメカニカル回転速度センサであって、振動の節に検出エレメント(20)が配設されており、該検出エレメントによって、回転によって惹き起こされた、振動の節のずれが検出可能である形式のものにおいて、前記リング(3)、前記励振手段(10)および前記検出エレメント(20)が表面マイクロメカニカル素子としてサブストレート上に実現されていることを特徴とするマイクロメカニカル回転速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

振動ジャイロスコープのためのミクロ構造体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-094469 Applicant：ゼネラル・モーターズ・コーポレーション
プローブユニットの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-277694 Applicant：キヤノン株式会社
センサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-113557 Applicant：ブリテッシュエアロスペースパブリックリミテッドカンパニー

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