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J-GLOBAL ID：200903089853717386

無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置

Inventor： ピョ ジェワック ,  ジャン ボンチョル ,  キム ユナン ,  キム ジェウォン ,  リー サンロ
Applicant, Patent owner： エスイー プラズマ インコーポレーション
Agent (1)： 大原 拓也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006197647
Publication number (International publication number)：2007059385
Application date： Jul. 20, 2006
Publication date： Mar. 08, 2007
Summary：

【課題】無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】電源供給手段50から放電電圧が印加される第1電極10と、第1電極10と所定間隔が離隔され、第1電極10を取り囲む誘電体30と、第1電極10と誘電体30との間の空間に充填される液体誘電体40と、誘電体30と所定間隔が離隔されるように設置される第2電極20と、を備える。さらに、第2電極20と所定間隔が離隔され、第2電極20を取り囲む第2誘電体と、第2電極20と前記第2誘電体との間の空間に充填される第2液体誘電体とを付加することもできる。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

プラズマ発生装置であって、 電源供給手段から放電電圧が印加される第1電極と、 前記第1電極と所定間隔が離隔され、前記第1電極を取り囲む誘電体と、 前記第1電極と前記誘電体との間の空間に充填される液体誘電体と、 前記誘電体と所定間隔が離隔されるように設置される第2電極と、を備える無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。

IPC (2)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08

FI (2)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 E

F-Term (9)：

4G075AA30 ,  4G075BB10 ,  4G075CA03 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EC21 ,  4G075FB04 ,  4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 気体励起用の電極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-037293   Applicant：日鉄鉱業株式会社
• プラズマ処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-333523   Applicant：松下電器産業株式会社
• ESRFチャンバ冷却システム並びに方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-563849   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-155549   Applicant：松下電工株式会社