走査電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：富田和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997101652
Publication number (International publication number)：1998294074
Application date： Apr. 18, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】リターディング法を用いながら、試料からの二次電子および反射電子を加速電圧および減速電界の大きさにかかわらず効率よく検出することのできる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】試料ホルダ17と、電子ビーム19を出射する電子線源1と、電子ビームを試料上で走査させる走査手段26、27と、対物レンズ3と、試料9上の空間に電子ビームを減速させる減速電界を形成する減速電界形成手段20と、電子ビーム19の照射により試料9から生じる二次電子15および反射電子16の少なくとも一方により構成される二次信号を検出するための検出器150、151を有する。第1の検出器150は、二次信号15、16が衝突する位置に配置され、二次信号15、16を検出するとともに、二次信号15、16の衝突によりさらに二次電子16bを放出する構成である。第2の検出器151は、第1の検出器150が放出した二次電子16bを検出する。

Claim (excerpt)：

試料を保持する試料ホルダと、前記電子を加速して前記試料に向かって電子ビームを出射する電子線源と、前記電子ビームを前記試料上で走査させる走査手段と、前記電子ビームを前記試料上で収束させる対物レンズと、前記電子ビームの照射により前記試料から生じる二次電子および反射電子の少なくとも一方により構成される二次信号を検出するための検出器とを有し、前記検出器は、第1の検出器と第2の検出器とを備え、前記第1の検出器は、前記二次信号が衝突する位置に配置され、前記二次信号を検出するとともに、前記二次信号の衝突によりさらに二次電子を放出する構成であり、前記第2の検出器は、前記第1の検出器が放出した二次電子を検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (2)：

H01J 37/244 , H01J 37/28 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

走査形電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-334894 Applicant：株式会社日立製作所
走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-306205 Applicant：株式会社日立製作所
走査形電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-275837 Applicant：株式会社日立製作所

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