炭素元素線状構造体を用いた電子デバイス及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：石田敬 , 吉田維夫 , 鶴田準一 , 西山雅也 , 樋口外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002194898
Publication number (International publication number)：2004087510
Application date： Jul. 03, 2002
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】直径の均一な炭素元素線状構造体を用いた電子デバイスとその製造方法を提供すること。【解決手段】導電性部材として金属シリサイドで作られた部材52、54を含み、且つ、当該導電性シリサイドで作られた部材52、54に接続した炭素元素線状構造体58を含む電子デバイスとする。この電子デバイスは、導電性部材としての金属シリサイド層52、54を形成する工程と、この金属シリサイド層からCVD法により炭素元素線状構造体58を成長させる工程を含む方法により製造される。金属シリサイド層52、54は、Ni、CoもしくはFe、又はそれらの合金のシリサイドとして形成される。好ましくは、炭素元素線状構造体はカーボンナノチューブである。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

半導体の電子又は正孔の移動による電気伝導を利用する電子デバイスであり、半導体部材、導電性部材及び絶縁性部材を含んでなる電子デバイスであって、導電性部材として金属シリサイドで作られた部材を含み、且つ、当該導電性シリサイドで作られた部材に接続した炭素元素線状構造体を含むことを特徴とする電子デバイス。

IPC (11)：

H01L29/06 , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/26 , H01J1/308 , H01L21/205 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H01L21/336 , H01L29/78

FI (14)：

H01L29/06 601N , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/26 , H01L21/205 , H01L21/28 301D , H01L21/28 301Z , H01L21/285 C , H01J1/30 S , H01L29/78 301B , H01L29/78 301Y , H01L29/78 301H , H01L21/88 M , H01L21/88 Q

F-Term (77)：

4K030BA27 , 4K030BB00 , 4K030CA05 , 4K030CA12 , 4K030CA13 , 4K030LA01 , 4K030LA11 , 4M104BB19 , 4M104BB20 , 4M104BB21 , 4M104BB36 , 4M104DD02 , 4M104DD43 , 4M104DD47 , 4M104DD78 , 4M104DD80 , 4M104DD81 , 4M104DD84 , 4M104FF21 , 4M104GG09 , 5C135DD16 , 5C135DD21 , 5C135GG12 , 5C135HH04 , 5F033HH11 , 5F033JJ00 , 5F033KK01 , 5F033KK25 , 5F033PP02 , 5F033PP07 , 5F033PP12 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ37 , 5F033QQ58 , 5F033QQ62 , 5F033QQ70 , 5F033QQ73 , 5F045AA08 , 5F045AA09 , 5F045AB07 , 5F045AC07 , 5F045AD08 , 5F045CB10 , 5F045EH09 , 5F140AB03 , 5F140BA00 , 5F140BA01 , 5F140BA04 , 5F140BB18 , 5F140BC11 , 5F140BD09 , 5F140BD11 , 5F140BE05 , 5F140BE07 , 5F140BE10 , 5F140BF01 , 5F140BF05 , 5F140BG08 , 5F140BG27 , 5F140BG36 , 5F140BJ08 , 5F140BJ11 , 5F140BJ13 , 5F140BJ17 , 5F140BJ27 , 5F140BK05 , 5F140BK13 , 5F140BK25 , 5F140BK29 , 5F140BK32 , 5F140BK34 , 5F140BK39 , 5F140CA03 , 5F140CC09 , 5F140CC13 , 5F140CE02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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