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J-GLOBAL ID：200903090724006528

電子放出素子とその製造方法、及び表示装置とその製造方法

Inventor：
石井 孝英

About 石井 孝英


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003366993
Publication number (International publication number)：2005135590
Application date： Oct. 28, 2003
Publication date： May. 26, 2005
Summary：
【課題】カソード電極とゲート電極間の静電容量を極力小さく抑えつつ、絶縁膜の絶縁耐圧を向上させる。【解決手段】電子放出素子の構成として、カソード基板1のベースとなる支持基板4上にライン状に形成されたカソード電極5と、このカソード電極5と交差する状態で支持基板4上にライン状に形成されたゲート電極7と、カソード電極5とゲート電極7との間に介装されるとともに、支持基板4の厚み方向に積層された第1の絶縁層61と第2の絶縁層62からなる絶縁膜6と、ゲート電極7及び絶縁膜6に穿孔されたキャビティ8と、このキャビティ8内でカソード電極5上に形成された円錐形の電子放出部9とを有する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板上にライン状に形成されたカソード電極と、 前記カソード電極と交差する状態で前記基板上にライン状に形成されたゲート電極と、 前記カソード電極と前記ゲート電極との間に介装されるとともに、前記基板の厚み方向に積層された第1の絶縁層と第2の絶縁層とを含む絶縁膜と を有することを特徴とする電子放出素子。
IPC (3)：
H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01J31/12
FI (3)：
H01J1/30 F ,  H01J9/02 B ,  H01J31/12 C
F-Term (22)：
5C036EE03 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH06 ,  5C036EH23 ,  5C127AA01 ,  5C127BA03 ,  5C127CC09 ,  5C127CC46 ,  5C127DD02 ,  5C127DD07 ,  5C127DD09 ,  5C127DD56 ,  5C127EE12 ,  5C127EE20 ,  5C135AA03 ,  5C135AC26 ,  5C135FF02 ,  5C135HH12 ,  5C135HH20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (6)
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