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J-GLOBAL ID:200903091007425075
マイクロリレー及びマイクロリレーの製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
片山 修平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002324384
Publication number (International publication number):2004127871
Application date: Nov. 07, 2002
Publication date: Apr. 22, 2004
Summary:
【課題】密封性に優れ、製造工程を簡素化できるマイクロリレーを提供する。【解決手段】固定接点及び固定電極を有する固定基板と、該固定基板に対向して配置したキャップ基板と、前記固定基板と前記キャップ基板との間に配置した可動板とを備え、前記可動板は枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、前記枠部は前記固定基板と前記キャップ基板との間で密封接合され、前記可動部は前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記固定基板と前記キャップ基板との間を移動する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
固定接点及び固定電極を有する固定基板と、該固定基板に対向して配置したキャップ基板と、前記固定基板と前記キャップ基板との間に配置した可動板とを備え、
前記可動板は、枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、
前記枠部は前記固定基板と前記キャップ基板との間で密封接合され、
前記可動部は、前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記固定基板と前記キャップ基板との間を移動することを特徴とするマイクロリレー。
IPC (6):
H01H59/00
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01H11/00
, H01H11/04
, H01H49/00
FI (6):
H01H59/00
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01H11/00 V
, H01H11/04 G
, H01H49/00 J
F-Term (6):
5G023CA15
, 5G023CA25
, 5G023CA27
, 5G023CA29
, 5G023CA30
, 5G023CA43
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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マイクロリレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-219832
Applicant:オムロン株式会社
-
静電マイクロリレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-194448
Applicant:オムロン株式会社
-
静電継電器および静電継電器の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-343569
Applicant:オムロン株式会社
-
マイクロリレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-157880
Applicant:オムロン株式会社
-
集積型マイクロスイッチおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-003631
Applicant:株式会社アドバンテスト
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スイッチ及びスイッチングシステム
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平9-518664
Applicant:スミスズインダストリーズパブリックリミテッドカンパニー
-
静電リレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-151923
Applicant:松下電工株式会社
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半導体装置の配線取り出し構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-354485
Applicant:株式会社東海理化電機製作所
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マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-063154
Applicant:株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
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