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J-GLOBAL ID:200903092202640696
X線発生装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉谷 勉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004092076
Publication number (International publication number):2005276760
Application date: Mar. 26, 2004
Publication date: Oct. 06, 2005
Summary:
【課題】 電子ビーム衝突点付近の表面温度を低下させることにより、ターゲットの長寿命化を図って装置の稼働率を高め、連続したX線の発生時間を長したり、強いX線を発生させられるX線発生装置を提供する。【解決手段】 ターゲットの表面に放熱層を備える。具体的には、開口21が形成された表面固体部20を、ターゲット部18の表面に密着した状態で設ける。すると、開口21を通過する電子ビームBが衝突して発生したターゲット表面付近の熱は、熱伝導により表面固体部20を介して速やかに分散される。このような放熱層を設けた本発明では、電子ビームBの衝突するターゲット部18の表面の温度が低下し、ターゲット材料が蒸発するのを低減することができるので、連続したX線発生時間を長くできる。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
ターゲットに対して電子ビームを照射してX線を発生させるX線発生装置において、電子ビームが照射される前記ターゲットの表面に接する放熱層を備えていることを特徴とするX線発生装置。
IPC (5):
H01J35/12
, G21K5/08
, H01J35/08
, H01J35/14
, H01J35/30
FI (6):
H01J35/12
, G21K5/08 C
, G21K5/08 X
, H01J35/08 F
, H01J35/14
, H01J35/30
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
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マイクロフォーカスX線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-205973
Applicant:株式会社島津製作所
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透過放射型X線管およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-371002
Applicant:株式会社東芝, 東芝電子エンジニアリング株式会社
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X線発生用ターゲット及びこれを用いたX線管
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-253817
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
Cited by examiner (7)
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特開平3-077252
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X線発生用ターゲット及びこれを用いたX線管
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-253817
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
-
X線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-190542
Applicant:株式会社島津製作所
-
マイクロフォーカスX線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-136808
Applicant:株式会社島津製作所
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特公昭47-021954
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特開昭47-021954
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X線管
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-168714
Applicant:谷口一雄
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