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J-GLOBAL ID:200903092902346233

ガス放電パネルの製造方法およびガス放電パネル

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 森本 義弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998242730
Publication number (International publication number):2000076989
Application date: Aug. 28, 1998
Publication date: Mar. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】 放電特性の良好な優れた表示品位を実現するガス放電パネルと、そのパネルを安定して製造することを実現する製造方法を提供する。【解決手段】 誘電体層2と保護層3が形成された基板4を、酸素を含む雰囲気中において紫外線照射を行い、保護層3の表面改質を行う。また、保護層3の表面改質を行う際には真空チャンバ18の減圧雰囲気で実施する。
Claim (excerpt):
誘電体層と保護層が形成された基板を用いてガス放電パネルを製造するに際し、酸素を含む雰囲気中において前記基板に紫外線照射を行って前記保護層の表面改質を行うガス放電パネルの製造方法。
IPC (3):
H01J 9/02 ,  G09F 9/313 ,  H01J 11/02
FI (3):
H01J 9/02 F ,  G09F 9/313 Z ,  H01J 11/02 B
F-Term (16):
5C027AA05 ,  5C040AA02 ,  5C040AA04 ,  5C040DD11 ,  5C094AA03 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA55 ,  5C094BA31 ,  5C094BA32 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DA15 ,  5C094FB02 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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