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J-GLOBAL ID：200903093297622670

真空ピンセット

Inventor：
鹿野 明彦

About 鹿野 明彦

, 
森元 哲也

About 森元 哲也


Applicant, Patent owner：
東ソー・クォーツ株式会社

About 東ソー・クォーツ株式会社


Agent (1)： 石井 良和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000084226
Publication number (International publication number)：2001271166
Application date： Mar. 24, 2000
Publication date： Oct. 02, 2001
Summary：
【要約】【課題】石英ガラス製の真空ピンセットで表面が鏡面状のウェーハを真空吸着して真空破壊するときに、ウェーハ面に応力やキズを発生させることなく剥離できるようにする。【解決手段】被吸着物を吸着する真空ピンセットの開口部を含む面を表面平滑性を有する硬質皮膜であるDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜で被覆する。DLC膜は石英ガラスと熱膨張係数がほぼ等しく、膜ストレスが発生せず、均一で強固な皮膜を形成する。
Claim (excerpt)：
吸引によって被吸着物を吸着する石英ガラス製の真空ピンセットであって、少なくとも吸引口を1つ有し、吸引口の面が表面平滑性を有する硬質皮膜で被覆されている真空ピンセット。
IPC (5)：
C23C 14/50 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68
FI (5)：
C23C 14/50 A ,  B25J 15/06 J ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 S
F-Term (27)：
3F061AA00 ,  3F061AA04 ,  3F061CA01 ,  3F061CB02 ,  3F061CB05 ,  3F061CC01 ,  3F061DB04 ,  3F061DC03 ,  4K029AA09 ,  4K029BA34 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029JA05 ,  4K029KA01 ,  5F031CA02 ,  5F031GA69 ,  5F031PA26 ,  5F045AA19 ,  5F045AB07 ,  5F045AC16 ,  5F045AE15 ,  5F045AF07 ,  5F045BB14 ,  5F045EH09 ,  5F045EM01 ,  5F045EM09 ,  5F045EN10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開平2-186656
  • 防塵性硬質炭素被膜
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-316036   Applicant：大同特殊鋼株式会社
  • ウェハ搬送装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-175501   Applicant：京セラ株式会社
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