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J-GLOBAL ID:200903093330044857
液体材料吐出装置、液体材料の吐出体積の制御方法、および当該方法を用いた電子部品製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岡部 正夫 (外11名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000246289
Publication number (International publication number):2001327905
Application date: Aug. 15, 2000
Publication date: Nov. 27, 2001
Summary:
【要約】【課題】対象物に対して、一定の微少体積の液体材料を吐出し、塗布等する液体材料の吐出方法および装置において、塗布等の工程中における吐出体積の実測を可能とし、微少吐出体積の制御を可能とする。【解決手段】液体材料を保持するシリンジに対して圧力を付加して液体材料を吐出させる装置において、シリンジの吐出口から吐出された液体材料の形状を撮像し、撮像された形状からその体積を求め、求められた体積に基づいてシリンジに付加される圧力およびその付加時間を制御することとする。
Claim (excerpt):
液体材料を内部に保持し前記液体を吐出するための吐出口を有するシリンジと、前記シリンジ内部に対して圧力媒体を用いて付加する圧力の値および前記圧力の付加時間の少なくとも一方を制御する圧力制御部とを有する液体材料吐出装置であって、前記シリンジの吐出口から吐出された前記液体材料の吐出時の形状を撮像する撮像装置と、撮像された前記液体材料の形状から前記吐出された液体材料の体積を算出する画像処理部とをさらに有し、算出された前記吐出された液体材料の体積に基づいて前記圧力制御部は前記圧力媒体により付加される圧力の値および圧力の付加時間の少なくとも一方を制御することを特徴とする液体材料吐出装置。
IPC (6):
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
, B05D 3/00
, B05D 7/24 301
, G01F 13/00 301
, H01L 21/56
FI (7):
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
, B05D 3/00 B
, B05D 3/00 D
, B05D 7/24 301 K
, G01F 13/00 301 V
, H01L 21/56 E
F-Term (27):
4D075AC06
, 4D075AC84
, 4D075AC94
, 4D075AC95
, 4D075CA03
, 4D075CA23
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DC21
, 4D075EA14
, 4D075EA35
, 4F041AA06
, 4F041AB02
, 4F041BA05
, 4F041BA38
, 4F042AA07
, 4F042BA02
, 4F042BA06
, 4F042BA08
, 4F042BA12
, 4F042BA19
, 4F042BA27
, 4F042CB10
, 4F042CB11
, 5F061AA01
, 5F061BA03
, 5F061CA04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
-
粘性流体塗布装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-105698
Applicant:富士通テン株式会社
-
液体塗布方法およびその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-246537
Applicant:日本電気株式会社
-
点滴装置及びそれを備えた輸液ポンプ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-040158
Applicant:テルモ株式会社
-
液滴モニタ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-205787
Applicant:富士写真フイルム株式会社
-
特開平4-334569
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Cited by examiner (5)
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粘性流体塗布装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-105698
Applicant:富士通テン株式会社
-
液体塗布方法およびその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-246537
Applicant:日本電気株式会社
-
点滴装置及びそれを備えた輸液ポンプ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-040158
Applicant:テルモ株式会社
-
液滴モニタ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-205787
Applicant:富士写真フイルム株式会社
-
特開平4-334569
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