セラミックグリーンシートの加工方法及びレーザ加工装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森下武一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997045838
Publication number (International publication number)：1998242617
Application date： Feb. 28, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】レーザビームによってセラミックグリーンシートに所望の形状のビアホール用穴を複数個同時に高精度に形成する。【解決手段】レーザビーム穴形成装置1は、概略、レーザ光源2、集光レンズ3、XYテーブル4、レーザ光源駆動回路5、制御回路6及びXYテーブル駆動回路7で構成されている。XYテーブル4の上面に、被加工物であるセラミックグリーンシート10が載置される。セラミックグリーンシート10の上面には、マスク15が載置される。マスク15には、所望のビアホール用穴と同形状のビアホール用透光部が複数個設けられている。レーザ光源2から放射されたレーザビームLは、マスク15の複数のビアホール用透光部を通過し、セラミックグリーンシート10を照射する。

Claim (excerpt)：

テーブルに支持されたセラミックグリーンシート上に所定のビアホール用透光部を設けたマスクを載置し、レーザ光源から放射されたレーザビームを前記マスクに照射して前記ビアホール用透光部を通過したレーザビームで前記セラミックグリーンシートにビアホール用穴を形成することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。

IPC (2)：

H05K 3/00 , B23K 26/00

FI (2)：

H05K 3/00 N , B23K 26/00 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

フィルム付きセラミックグリーンシートの加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-332103 Applicant：太陽誘電株式会社
レーザ加工方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-123893 Applicant：日立精工株式会社
セラミックグリーンシートの加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-332082 Applicant：太陽誘電株式会社

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