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J-GLOBAL ID：200903093583670169

走査型近接場光学顕微鏡

Inventor：
佐々木 靖夫

About 佐々木 靖夫


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001150901
Publication number (International publication number)：2002340771
Application date： May. 21, 2001
Publication date： Nov. 27, 2002
Summary：
【要約】【課題】 入射系と光学顕微鏡部を一体化し、低コスト化、小型化を図ると共に、セッティングのしやすく、高S/N比化した走査型近接場光学顕微鏡。【解決手段】 探針2と、探針保持部材3と、探針2先端を試料1近傍に接近させる手段3と、光源16を含み探針2先端付近に光を照射する手段7と、検出器15を含み探針2先端付近からの光を検出する手段とを持ち、試料1の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、観察手段は試料1に略垂直に配置された対物レンズ7を含み、対物レンズ7の焦点位置付近で、探針2先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針2及び探針保持部材3に遮られることなく対物レンズ7の有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、対物レンズ7は探針2先端に光を照射する手段の一部を兼ねている。
Claim (excerpt)：
照射光の中心波長より小さい先端径の鋭い先端を有する探針と、その探針を支える探針保持部材と、その探針先端を試料の略垂直上方から試料近傍に接近させる手段と、光源を含みその探針先端付近に光を照射する手段と、検出器を含みその探針先端付近からの光を検出する手段とを持つ光測定装置において、試料の略垂直上方からの光学顕微観察手段を持ち、この光学顕微観察手段は試料に略垂直に配置された対物レンズを含み、探針は、対物レンズの焦点位置付近で、探針の先端から中心波長以下の先端部を起点とする直線の少なくとも1本は探針及び探針保持部材に遮られることなく対物レンズの有効径の少なくとも一部を横切ることができるように配置され、この対物レンズは探針先端に光を照射する手段の一部を兼ねることを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/14 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06
FI (4)：
G01N 13/14 A ,  G01B 11/30 Z ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06
F-Term (32)：
2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065FF49 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL35 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065NN05 ,  2F065NN08 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2H052AA07 ,  2H052AB30 ,  2H052AC04 ,  2H052AC09 ,  2H052AC15 ,  2H052AC29 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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