ファンフィルタユニット制御システム及びそのシステムを備えたクリーンルーム

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001253771
Publication number (International publication number)：2003065577
Application date： Aug. 24, 2001
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】半導体や液晶などの電子デバイスを製造するクリーンルームに関し、クリーンルーム内の清浄度を向上させるためFFUの吹出し気流の方向や風量を制御する。【解決手段】クリーンルームの天井部に設けたFFUや差圧計などの情報により、各FFUの吹出し気流の方向、風量を制御する。またクリーンルーム内の風速分布を改善するため、天井チャンバ内の圧力を均一化し、さらにFFUの回転数制御を容易にした。さらにクリーンルーム内の気流の方向を制御するため、クリーンルーム内のグレーチング床の下部にダンパ調整機構を設けた。このような構成によりクリーンルーム運転状態の最適化と省エネ運転が可能となる。

Claim (excerpt)：

クリーンルーム天井部に配置したファンフィルタユニットと該ファンフィルタユニットを制御する制御装置とを有したファンフィルタユニット制御システムにおいて、前記ファンフィルタユニット位置情報と前記クリーンルームの天井チャンバ内に配置した差圧計の圧力情報により前記ファンフィルタユニットのファンモータ回転数を制御することを特徴とするファンフィルタユニット制御システム。

IPC (3)：

F24F 7/06 , F24F 11/02 102 , F24F 11/04

FI (3)：

F24F 7/06 C , F24F 11/02 102 H , F24F 11/04 F

F-Term (11)：

3L058BD01 , 3L058BE02 , 3L058BF01 , 3L058BF07 , 3L058BG01 , 3L058BG04 , 3L060AA08 , 3L060CC09 , 3L060DD02 , 3L061BE02 , 3L061BF07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

クリーンルーム用ファンフィルター駆動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-106549 Applicant：株式会社東芝
クリーンルーム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-194856 Applicant：セイコーエプソン株式会社
クリーンルーム内の気流調整装置及び運転停止後の清浄度維持装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-042806 Applicant：株式会社朝日工業社

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