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J-GLOBAL ID：200903094185654915

光画像計測装置

Inventor：
チャン キンプイ

About チャン キンプイ

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秋葉 正博

About 秋葉 正博

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福間 康文

About 福間 康文

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大塚 浩之

About 大塚 浩之

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塚田 央

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Applicant, Patent owner：
株式会社トプコン

About 株式会社トプコン


Agent (1)： 三澤 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004103343
Publication number (International publication number)：2005291752
Application date： Mar. 31, 2004
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：
【課題】 干渉光のサンプリングの自動化を促進する光画像計測装置を提供する。【解決手段】 光源71からのレーザ光は、ビームスプリッタ73で二分され、一方が周波数シフトされた後ビームスプリッタ73にて重畳され干渉光を形成する。この干渉光は干渉光L、L1〜L3と同じ周波数を有する。フォトディテクタ75はこの干渉光を受光し電気信号として出力する。交流成分抽出手段81はこの電気信号の交流成分を抽出する。周波数検出手段82は、この交流成分の周波数を検出する。パルス信号発生器50は、検出された周波数でパルス信号を発生して位相シフタ41〜43に送信する。位相シフタ41〜43は、このパルス信号の位相をシフトさせ、制御信号としてシャッタ31〜33に出力する。各シャッタ31〜33は、この制御信号を基に開放/遮蔽を切り換えて干渉光L1〜L3をサンプリングする。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
光ビームを出射する光源と、この光源からの光ビームを、被測定物体を経由する信号光と所定の参照物体を経由する参照光とに分割し、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを周波数シフト手段により相対的にシフトさせた後に、前記被測定物体を経由した前記信号光と前記参照物体を経由した前記参照光とを互いに重畳させて干渉光を生成する干渉光学系とを含んでおり、前記干渉光に基づいて前記被測定物体の画像を形成する光画像計測装置であって、 前記干渉光の周波数に同期した周波数の制御信号を生成する手段と、 前記生成された前記制御信号に基づいて、前記干渉光の強度を所定の周波数にて変調する強度変調手段と、 前記強度変調された前記干渉光を受光し電気信号に変換して出力する光検出手段と、 前記光検出手段により出力された前記電気信号に基づいて、前記干渉光の強度及び位相を演算する演算手段と、 を備えていることを特徴とする光画像計測装置。
IPC (3)：
G01N21/17 ,  A61B10/00 ,  G01B11/00
FI (3)：
G01N21/17 630 ,  A61B10/00 E ,  G01B11/00 G
F-Term (31)：
2F065BB21 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ19 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL57 ,  2F065NN08 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059FF02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (4)
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