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J-GLOBAL ID:200903094490328017
半導体素子の実装構造および積層型回路モジュールならびに半導体素子の実装構造の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐藤 強
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999348689
Publication number (International publication number):2001168269
Application date: Dec. 08, 1999
Publication date: Jun. 22, 2001
Summary:
【要約】【課題】 半導体素子を配線基板にコンパクトに実装して他の部品の実装効率を向上させる。【解決手段】 下地となる多層配線基板12上に層間貫通電極18およびバンプ電極19などを形成し、半導体素子17をフリップチップ実装する。この上に熱硬化性樹脂を塗布して熱硬化させ、研削することにより半導体素子17を所定厚さにすると共に層間接続電極18を露出させる。配線電極21を形成して熱硬化性樹脂を塗布し、多層配線基板13を載せて圧力を加えた状態で熱硬化させ、配線電極21と多層配線基板13とを電気的にも接続する。実装構造14は、複数階層を積層して積層型回路モジュールを構成することもできる。多層配線基板12,13の両面側に全面に面実装素子を実装でき、中継基板を用いないでコンパクトな厚さで形成できる。
Claim (excerpt):
下地となる配線基板もしくは他の実装構造の上に積層形成する半導体素子の実装構造において、前記下地の接続電極部に電気的に接続した状態で固定される半導体素子と、この半導体素子の少なくとも側面周囲を包囲するように絶縁体で充填するように形成された素子用絶縁層と、この素子用絶縁層中を貫通した状態に形成され前記下地側とその反対の面側との間を電気的に導通させる層間接続電極とを備えたことを特徴とする半導体素子の実装構造。
IPC (3):
H01L 25/065
, H01L 25/07
, H01L 25/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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特開平4-290258
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半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-292703
Applicant:ローム株式会社
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特許第3500995号
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三次元積層モジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-033320
Applicant:株式会社日立製作所
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半導体装置及び半導体装置ユニット
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-130620
Applicant:富士通株式会社
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半導体モジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-021225
Applicant:株式会社日立製作所
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半導体パッケージとその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-036664
Applicant:日本電気株式会社
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半導体の実装構造および製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-088957
Applicant:日本電気株式会社
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半導体装置の製造方法及び薄膜形成装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-341900
Applicant:株式会社東芝
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