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J-GLOBAL ID：200903094975093280

マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置

Inventor： 川勝 英樹
Applicant, Patent owner： 独立行政法人 科学技術振興機構
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002378996
Publication number (International publication number)：2004212078
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】光励振と光計測を行うことにより、個々のカンチレバーに励振や検出用の素子を組み込む必要がなく、カンチレバーアレーの構造を簡単なものにとどめ、カンチレバーの高いQ値や、高周波作動、修飾方法の多様性を得ることができるマルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置を提供する。【解決手段】カンチレバー2〜nの固有振動数がそれぞれ異なるカンチレバーアレー11を用い、その固有振動を変調光励振によって順次励振し、その振動をレーザドップラー計によって計測する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーの固有振動を変調励振によって順次励振し、その振動をレーザドップラー計によって計測することを特徴とするマルチカンチレバーの振動周波数の計測方法。

IPC (1)：

G01N13/10

FI (1)：

G01N13/10 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 走査型プローブ顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-365119   Applicant：科学技術振興事業団
• 特許第2848539号
  
• 探針ユニット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-344514   Applicant：カシオ計算機株式会社
• 走査プローブ顕微鏡のマルチプローブヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-347984   Applicant：松下電器産業株式会社
• カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-160482   Applicant：科学技術振興事業団

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• "Hybrid Fiber-optic/Micromechanical Frequency Encoding Displacement Sensor"
• “100万本のカンチレバーと100MHzまでの走査型力顕微鏡”