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J-GLOBAL ID：200903000647673800

走査型プローブ顕微鏡装置

Inventor：
川勝 英樹

About 川勝 英樹


Applicant, Patent owner：
科学技術振興事業団

About 科学技術振興事業団


Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000365119
Publication number (International publication number)：2002168754
Application date： Nov. 30, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：
【要約】【課題】 SEM機能とSPM機能のそれぞれの特徴を十分に生かしきったナノ構造体の観察、評価、加工を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡装置1は、試料Aがセットされる試料台3を有する走査型電子顕微鏡2と、前記試料台3に装着される走査型プローブ顕微鏡4とを具備する。
Claim (excerpt)：
(a)試料がセットされる試料台を有する走査型電子顕微鏡と、(b)前記試料台に装着される走査型プローブ顕微鏡とを具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置。
IPC (3)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 23/225
FI (5)：
G01N 13/10 A ,  G01N 13/10 D ,  G01N 13/10 F ,  G01B 21/30 ,  G01N 23/225
F-Term (18)：
2F069AA60 ,  2F069DD20 ,  2F069GG02 ,  2F069GG07 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069GG65 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ04 ,  2F069MM21 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069RR09 ,  2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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