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J-GLOBAL ID:200903094993528390

感光性樹脂組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999293114
Publication number (International publication number):2001117226
Application date: Oct. 15, 1999
Publication date: Apr. 27, 2001
Summary:
【要約】【課題】 高い耐サンドブラスト性を有し、更にドライフィルムレジストとした際の保護フィルムの剥離強度低下によるハンドリング性に優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決方法】 酸価が10〜150mgKOH/gであるカルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート系化合物(A)、光重合開始剤(B)及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(C)、好ましくは更に酸価を有しないウレタン(メタ)アクリレート系化合物(D)を含有してなる感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt):
酸価が10〜150mgKOH/gであるカルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート系化合物(A)、光重合開始剤(B)及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(C)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3):
G03F 7/027 513 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 11/02
FI (3):
G03F 7/027 513 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 11/02 B
F-Term (21):
2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC45 ,  2H025BC81 ,  2H025BC85 ,  2H025CC05 ,  2H025CC20 ,  2H025FA42 ,  5C040GF18 ,  5C040JA09 ,  5C040JA15 ,  5C040JA17 ,  5C040KA16 ,  5C040KB19 ,  5C040MA23
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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