エッチングおよびドーピング複合物質

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：葛和清司
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003537127
Publication number (International publication number)：2005506705
Application date： Sep. 13, 2002
Publication date： Mar. 03, 2005
Summary：

本発明は、無機層のエッチングおよびその下の層のドーピングの両方に好適な、塩酸/フッ素酸を含まないエッチングおよびドーピング物質に関する。本発明はさらに、前記物質を用いる方法に関する。

Claim (excerpt)：

太陽電池の窒化シリコンパシベーションおよび反射防止層のエッチング法であって、リン酸またはリン酸塩を含むエッチング媒体を、単一の工程で、表面全体に、またはエッチングする表面領域に選択的に、適用することを特徴とする、前記方法。

IPC (2)：

H01L31/04 , H01L21/306

FI (3)：

H01L31/04 A , H01L21/306 E , H01L31/04 F

F-Term (11)：

5F043AA35 , 5F043BB23 , 5F043DD07 , 5F043DD08 , 5F043DD10 , 5F043GG10 , 5F051AA02 , 5F051AA03 , 5F051CB21 , 5F051DA03 , 5F051HA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

導電性ペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-018617 Applicant：シャープ株式会社
リン拡散用組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-082677 Applicant：三菱マテリアル株式会社
導電性ペースト、この導電性ペーストからなるグリッド電極が形成された太陽電池及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-290081 Applicant：株式会社村田製作所

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