増加したフォトスピードを有するフォトレジスト

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：千田稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001005972
Publication number (International publication number)：2001249448
Application date： Jan. 15, 2001
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】化学的組成を変えることなしに、ドライフィルム一次フォトレジストのフォトスピードを増加させる方法を提供する。また、フォトレジストレリーフイメージを形成する方法を開示する。【解決手段】ドライフィルム一次フォトレジストから保護コーティングを除去し、該ドライフィルム一次フォトレジストを基体に接触させ、さらに該ドライフィルム一次フォトレジストを該基体に真空ラミネートさせて積層構造物を形成させる工程を含む、ドライフィルム一次フォトレジストのフォトスピードを増加させる方法が提供される。

Claim (excerpt)：

ドライフィルム一次フォトレジストから保護コーティングを除去し、該ドライフィルム一次フォトレジストを基体に接触させ、さらに該ドライフィルム一次フォトレジストを該基体に真空ラミネートさせて積層構造物を形成させる工程を含む、ドライフィルム一次フォトレジストのフォトスピードを増加させる方法。

IPC (5)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/38 501 , H05K 3/00 , H05K 3/28

FI (5)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/38 501 , H05K 3/00 F , H05K 3/28 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

フィルム状感光性材料の光活性保持方法及びプリント配線板の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-306053 Applicant：日立化成工業株式会社
感光性樹脂組成物、感光性積層体及びフレキシブルプリント板の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-129840 Applicant：日立化成工業株式会社
プリント回路板の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-141886 Applicant：日立化成工業株式会社

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