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J-GLOBAL ID：200903095368733624

梯子型弾性表面波フィルタ

Inventor：
猪瀬 直人

About 猪瀬 直人

, 
中久木 穂

About 中久木 穂


Applicant, Patent owner：
沖電気工業株式会社

About 沖電気工業株式会社


Agent (1)： 柿本 恭成
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998362173
Publication number (International publication number)：2000183679
Application date： Dec. 21, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 梯子型の弾性表面波(SAW)フィルタの耐熱性を向上させて耐電力性を向上させる。【解決手段】 基板上に形成されたSAW共振子の電極30aがAlまたはAl合金で形成されるのに対し、該SAW共振子間を接続する接続パターン34と、ボンディングパッドとは、基板に蒸着されたそのAlまたはAl合金の膜36と、その上に蒸着されたAuの膜37とで構成されている。Auは、AlまたはAl合金の膜36よりも、熱伝導率が高いので、SAW共振子の電極30aの振動で発生した熱が、Auの膜37を伝わって逃げるようになり、SAWフィルタの耐熱性が向上して耐電力性が向上する。
Claim (excerpt)：
圧電または強誘電体単結晶基板上に電極となるAl或いはAl合金が蒸着されてそれぞれ形成された複数の1端子対弾性表面波共振子と外部接続用の複数のボンディングパッドとを備え、前記複数の1端子対弾性表面波共振子が接続パターンにより前記複数のボンディングパッド間で梯子型に接続された梯子型弾性表面波フィルタにおいて、前記1端子対弾性表面波共振子間を接続する前記接続パターン、該1端子対弾性表面波共振子と前記ボンディングパッド間を接続する前記接続パターン及び該ボンディングパッドは、前記圧電または強誘電体単結晶基板上に蒸着されて形成された前記Al或いはAl合金の膜上に、該Al或いはAl合金よりも熱伝導率が高い金属で形成された放熱膜を1層以上重ねて構成したことを特徴とする梯子型弾性表面波フィルタ。
IPC (2)：
H03H 9/145 ,  H03H 9/64
FI (3)：
H03H 9/145 C ,  H03H 9/145 D ,  H03H 9/64 Z
F-Term (16)：
5J097AA24 ,  5J097AA25 ,  5J097AA26 ,  5J097AA29 ,  5J097BB02 ,  5J097BB11 ,  5J097CC02 ,  5J097DD25 ,  5J097DD29 ,  5J097FF03 ,  5J097GG03 ,  5J097HA02 ,  5J097HA04 ,  5J097JJ08 ,  5J097KK03 ,  5J097KK09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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