単一フォールド光学システムにおけるビームスプリッタならびに光学可変倍率方法およびシステム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996514676
Publication number (International publication number)：1998509561
Application date： Oct. 19, 1995
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】像を、照明された物体からイメージ面(4)まで、選択された倍率該物で投影するための光学システム(図4)。該光学システムは、固定倍率を有するレンズシステム(6')と、レンズシステムと光学的に適合し、円筒形に屈曲されたときレンズシステムの固定倍率を像の一軸に沿って変化させる少なくとも一つの平らなプレート(28)とを有する。この可変倍率技術は、Wynne Dyson光学投影システムを含む全てのレンズシステムタイプに応用可能である。また、通常のフォールドプリズム(10)の代わりに光学ブロックを有するWynne Dyson光学投影システムを説明する。光学ブロック(32)は、レチクル(2)から伝達された熱に起因する歪曲の変化を減少させる。ブロックは、光学ブロック中を対角線上に通り、露光照明を最小限に減衰させる2色性のビームスプリッタ(34)を導入することを可能にする。

Claim (excerpt)：

像ビームを、物体面において照明された物体からイメージ面まで、該物体に対して選択された倍率を有する投影像として投影するための光学システムであって、該光学システムは該物体面と該イメージ面との間の光路を規定しており、該光学システムは、該光路中において、該物体からの照明を受けることによりその像を該イメージ面に生成する位置に設けられた、固定倍率を有するレンズシステムと、選択された厚さおよび該レンズシステムと光学的に適合する材料を有する第1のプレートであって、その中を通過する該像ビームに第1の可変倍率を付与するように位置され、該第1のプレートの一点が固定的に設けられていることで該光路中に制約されている第1のプレートと、該第1のプレートを選択的に屈曲させ、該第1のプレートの変形度に比率して該第1の可変倍率を発生させる、該第1のプレートに結合された第1のアクチュエータと、を有しており、該第1のプレートの該第1の可変倍率は、該投影像における該選択された倍率を該第1のプレートが屈曲される軸に垂直な方向において正または負に変化させ、該第1の投影像は、該レンズシステムおよび該第1のプレートの組み合わせにより該選択された倍率が該像ビームに付与されることで形成され、該レンズシステムの該固定倍率と該第1のプレートの該第1の可変倍率との積は、該選択された倍率に等しい、光学システム。

IPC (6)：

H01L 21/027 , G02B 13/24 , G02B 15/14 , G02B 17/08 , G02B 27/18 , G03F 7/20 521

FI (6)：

H01L 21/30 515 D , G02B 13/24 , G02B 15/14 , G02B 17/08 A , G02B 27/18 Z , G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭59-144127
特開昭62-035619
特開昭61-216430

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