走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：倉内義朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997239764
Publication number (International publication number)：1999083874
Application date： Sep. 04, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】自己変位検出機能をもち、耐環境性に優れたカンチレバーチップを備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー部1bの少なくとも固定端部に、ピエゾ抵抗層2を形成し、このピエゾ抵抗層2の抵抗値変化から探針1aの変位を検出するように構成することにより、カンチレバーチップ1に自己変位検出機能を持たせ、しかもカンチレバー部1bの表面のうち、ピエゾ抵抗層2が形成された部分の表面のみに保護膜3を形成して、ピエゾ抵抗層2の表面を保護膜3で覆うことで、環境の影響を受け難くする。

Claim (excerpt)：

自由端に探針をもつカンチレバーチップと、このチップの探針と試料とを2次元方向に相対的に移動する機構を有し、その移動過程で探針の変位を検出して試料表面の微細構造の測定情報を得る顕微鏡において、上記カンチレバーチップには、カンチレバー部の少なくとも固定端部にピエゾ抵抗層が形成され、そのピエゾ抵抗層の抵抗値変化から上記探針の変位を検出するように構成されているとともに、カンチレバー部の表面のうち、ピエゾ抵抗層が形成された部分の表面のみが保護膜で覆われていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

プローブ加振機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-323552 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
カンチレバーの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-230228 Applicant：日立建機株式会社
集積型AFMセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-256855 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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