力学量センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤洋二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001171496
Publication number (International publication number)：2002365306
Application date： Jun. 06, 2001
Publication date： Dec. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】加速度印加に応じて変位する可動電極及び該可動電極と検出間隔を有して対向する固定電極を有し、2つの軸方向へ発生する加速度を検出可能な容量式の加速度センサにおいて、当該2つの軸方向とは異なる方向への振動を抑えつつ、歩留まりの向上が可能なセンサ構成を実現する。【解決手段】第1及び第2のセンサチップ100、200は、それぞれ、半導体基板10に、可動電極120、220および固定電極130、140、230、240を有する櫛歯状の梁構造体を形成してなるものであり、第1のセンサチップ100の可動電極120の変位方向Xと第2のセンサチップ200の可動電極220の変位方向Yとが直交するように、両センサチップ100、200は1個の回路基板300上に積層されている。

Claim (excerpt)：

力学量検出用の第1のセンサチップ(100)および第2のセンサチップ(200)と、これら両センサチップからの信号を処理する回路基板(300)とを備える力学量センサであって、前記第1及び第2のセンサチップは、それぞれ、半導体基板(10)に、力学量の印加に応じて所定方向(X、Y)へ変位可能な可動電極(120、220)およびこの可動電極との間に検出容量(CS1〜CS4)を形成する固定電極(130、140、230、240)が形成されたものであり、前記第1及び第2のセンサチップは、1個の前記回路基板上に積層されており、前記第1のセンサチップの可動電極の変位に伴う前記検出容量の変化、および前記第2のセンサチップの可動電極の変位に伴う前記検出容量の変化に基づいて印加力学量を検出するようになっていることを特徴とする力学量センサ。

IPC (4)：

G01P 15/125 , G01L 5/16 , G01P 15/18 , H01L 29/84

FI (4)：

G01P 15/125 , G01L 5/16 , H01L 29/84 Z , G01P 15/00 K

F-Term (20)：

2F051AA01 , 2F051AB06 , 2F051DA02 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA05 , 4M112CA06 , 4M112CA11 , 4M112CA13 , 4M112CA15 , 4M112DA02 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA06 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

半導体加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-084233 Applicant：松下電工株式会社
半導体力学量センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-112288 Applicant：株式会社デンソー
半導体センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-253394 Applicant：三菱電機株式会社

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