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J-GLOBAL ID：200903095923595780

シンクロトロン放射光強度測定器および該強度測定器を備えたX線露光装置

Inventor：
大串 信明

About 大串 信明


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997110488
Publication number (International publication number)：1998289866
Application date： Apr. 11, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：
【要約】【課題】 シンクロトロン放射光の強度を高精度かつ高速に測定するとともにその測定情報を基に高精度な露光量制御を可能とするX線露光装置を提供する。【解決手段】 シンクロトロンリング1から発せられるシートビーム9の強度分布を有する方向に移動可能でシートビーム9の動きに追従するステージ2、6上にX線ディテクタ8a、8bを配列し、X線ディテクタの出力信号等とシンクロトロン放射光強度の関係を予めデータテーブルとして保管する強度演算器13を用いて、X線ディテクタ8a、8bの出力信号に基づいてシンクロトロン放射光の強度を高精度に算出する。そして、その算出結果に基づいてシャッタコントローラ14を介し、シャッタ3の駆動速度や駆動パターンを制御して、露光時間を制御し、マスク4およびウエハ5への露光量を均一なものとする。
Claim (excerpt)：
シンクロトロン放射光の強度分布を有する方向に移動可能でシンクロトロン放射光の動きに追従するX線ディテクタを備え、X線ディテクタの信号とシンクロトロン放射光強度の関係、またはX線ディテクタの信号とシンクロトロンリングの真空度とシンクロトロン放射光強度の関係を、予めデータテーブルとして保管している演算器を具備し、前記X線ディテクタの出力信号に基づいて前記演算器を介してシンクロトロン放射光の強度を測定することを特徴とするシンクロトロン放射光強度測定器。
IPC (5)：
H01L 21/027 ,  G01T 1/29 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 ,  H05H 13/04
FI (5)：
H01L 21/30 531 A ,  G01T 1/29 B ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 X ,  H05H 13/04 U
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • X線露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-311836   Applicant：キヤノン株式会社
  • 特開昭63-096899
  • 特開平2-071188
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Cited by examiner (5)
  • X線露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-311836   Applicant：キヤノン株式会社
  • 特開昭63-096899
  • 特開平2-071188
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