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J-GLOBAL ID：200903096216147025

液晶パネル用露光装置

Inventor： 大見 忠弘 ,  武久 究 ,  森山 司郎 ,  酒巻 誠
Applicant, Patent owner： 大見 忠弘 ,  株式会社日本セラテック
Agent (2)： 後藤 洋介 ,  池田 憲保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003044973
Publication number (International publication number)：2004264371
Application date： Feb. 21, 2003
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：

【課題】軽量化された露光装置を提供すること【解決手段】液晶パネル用露光装置100におけるマスクステージ2と基板ステージ12に、炭化珪素にガラスを添加した複合セラミックス材であってハニカム構造を有するものを用いる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

マスク上のパターンを基板上に転写露光するために、前記マスク、前記基板の少なくとも一方をステージによって移動させながら露光する露光装置において、前記ステージを構成する材質として、密度が3.0g/cm3 以下のセラミックスを用いることを特徴とする液晶パネル用露光装置。

IPC (7)：

G03F7/20 ,  C04B35/565 ,  C04B35/584 ,  C04B38/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1343 ,  H01L21/027

FI (7)：

G03F7/20 501 ,  C04B38/00 303Z ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1343 ,  H01L21/30 503A ,  C04B35/56 101Y ,  C04B35/58 102Y

F-Term (27)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H092MA14 ,  2H092MA16 ,  2H092MA35 ,  2H092PA01 ,  2H097AB01 ,  2H097AB05 ,  2H097BA10 ,  2H097GB00 ,  2H097LA12 ,  4G001BA22 ,  4G001BA32 ,  4G001BA85 ,  4G001BB22 ,  4G001BB32 ,  4G001BB85 ,  4G001BC71 ,  4G001BD05 ,  4G001BE31 ,  4G001BE33 ,  4G019FA12 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• サイアロン結晶粒子および複合セラミックス焼結体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-252874   Applicant：東レ株式会社
• 複合セラミックスおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-235004   Applicant：太平洋セメント株式会社
• 低熱膨張高剛性セラミックス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-090758   Applicant：京セラ株式会社
• 粒界制御型高減衰能炭化珪素セラミックス及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-203136   Applicant：学校法人東京理科大学, 日本学術振興会
• 振動減衰部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-185484   Applicant：京セラ株式会社
• 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-308608   Applicant：キヤノン株式会社